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        賀德克壓力傳感器的電阻應變片及溫度補償原理

        2020-01-07 11:29

            賀德克壓力傳感器包括電阻應變片的粘貼及溫度補償原理。應變片的粘貼工藝包括被測試件表面處理,貼片和質量檢查,焊接引線以及防護與屏蔽等。溫度誤差:溫度誤差是指環境溫度變化引起應變片電阻變化。原因有兩方面:一方面是應變片電阻絲的溫度系數,另一方面是電阻絲材料與試件材料的線膨脹系數不同。
         
              賀德克壓力傳感器膜式應變傳感器簡單的平膜壓力傳感器,應變片貼在膜片的內表面。膜片感受壓力時產生應變,使應變片有一定的電阻輸出。薄膜應變片是用濺射或蒸發的方法將半導體或金屬敏感材料鍍在彈性基片上的。優點:穩定性好、使用壽命長、靈敏度高、溫度系數小、工作溫度范圍寬、量程大、成本低。主要成膜工藝有真空濺射和真空蒸鍍。真空濺射工藝大致流程為:基片預處理、濺射介質層、濺射敏感層、蒸發Au、光刻電極、形成電橋、完成全部電連接、沉積鈍化膜。另外真空蒸發工藝制作的薄膜應變片其結構同濺射應變片基本相同。

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