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        賀德克壓力傳感器的發展方向探討

        2020-01-15 14:39

          賀德克壓力傳感器不只是用于國防石油海洋等領域,它也與人類的日常生活息息相關。家用電器中所用傳感器愈來愈多,已成為傳感器的第二市場。90年代后,我國將傳感器的研究放在重要位置上,尤其是高精度(0.05級以上)。目前我國從事傳感器生產的廠家有一千多家,所生產的產品種類有300余種,產量1億多。世界上傳感器更新換代的速度很快,國產半導體壓力傳感器的特性參數有所提高,以矩形雙島膜結構的量程微壓傳感器特性為例,非線性傳感器分辨率好,過壓保護范圍大于20倍量程。高溫硅壓力傳感器的工作溫度分別達到-50~300。C和0~400°C壓敏器件的可靠性高,元器件的品種增多,測壓范圍已拓展,已有微壓、表壓高壓、絕對壓力、差壓等力敏元件及配套儀表問世。
         
          賀德克壓力傳感器的發展主要歸為幾個方面:
         
          1.小型化:小型化會帶來很多好處,重量輕、體積小分辨率高,便于安裝在很小的地方;對周圍器件影響小,也利于微型儀器、儀表的配套使用。
         
          2.集成化:可以利用現有的生產工藝和成熟的集成技術,把電路與傳感器制作在一起,減少工藝流程降低生產成本,而且不易損環。
         
          3.智能化:由于集成化的出現,在集成電路部分制作一些微處理機,使其具有類似人類的思維處理能力,智能化是未來傳感器市場的主流。

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